MKS-600系列大气压在线等离子表面活化系统
功能特点
1.清洁活化基材表面，提高基材表面达因系数，增强基材附着力，提升精密产品合格率，同时达到消除基材表面静电功能。
2.自动调宽，处理范围可设定，高度可设定，可过含夹具产品。
3.表面处理过程中等离子体输出温度低，不伤基材。
4.产品双功能化，基材产品在不用表面处理时，可自动调宽，直通模式。
5.不损伤被处理产品器件。
应用范围
等离子表面清洁，活化处理，广泛应用于各种非导电及导电基材
1.Wire Bonding 金手指清洁，活化。
2.PCBA 三防涂覆前清清洁，活化，提高表面达因值，增强粘合附着力。
3.PCB锡膏印刷前焊盘清洁，活化表面处理，增强熔锡固化粘合。
4.Wafer清洁
5.COF，Mini-LED点胶装前基材清洁等。
等离子表面活化系统特点
特点
1.等离子主机及运动柜体自主研发，软硬件自主知识产权。
2.可根据客户产品外观形状不同，配置不同形状尺寸的等离子喷嘴。
3.可根据客户生产要求处理效率配置多头及单机功率可设定。
4.本系统有较高且稳定的等离子体输出，能保证处理产品效果的一致性。
5.等离子体输出温度较低，不会损伤被处理产器，处理前后效果显著等特点。
应用领域
设备参数 | |||
项目 | MKS-600S | MKS-600 | MKS-600L |
机器尺寸：（L *W＊H）mm) | 1090*776*1540 | 1090*976*1540 | 1140*1026*1540 |
PCB尺寸 | 50*50~250*450 | 50*50~450*450 | 50*50~500*500 |
电压/功率 | 220V/1.5KW | 220V/1.5KW | 220V/1.5KW |
操作系统 | MKS Control Software | MKS Control Software | MKS Control Software |
轨道系统 | 自动调整轨道宽度 | 自动调整轨道宽度 | 自动调整轨道宽度 |
传动系统 | 伺服/步进控制系统 | 伺服/步进控制系统 | 伺服/步进控制系统 |
基材检测系统 | 感应器 | 感应器 | 感应器 |
控制系统 | 松下PLC | 松下PLC | 松下PLC |
传动部件 | 模组/25b带挡边链条 | 模组/25b带挡边链条 | 模组/25b带挡边链条 |
移动速度 | 1-500mm/sec | 1-500mm/sec | 1-500mm/sec |
自动调宽 | 是 | 是 | 是 |
异常报警功能 | 是 | 是 | 是 |
空气净化 | 选配 | 选配 | 选配 |
机器重量 | 280KG | 280KG | 280KG |
等离子输出设备参数 | |
输入电压 | 220V±10%，3线 |
输入电源频率 | 50/60Hz |
输入工作电流 | Max 8A |
输入气体 | AIR（CDA），N2，CO2 |
输入气压 | 0.25~0.5MPa |
输入气体流量 | 25-80LPM |
等离子功率 | 500/1000/1200W |
频率 | 15-25KHz |
喷头类型 | 旋转 |
等离子清洁高度 | 5-20mm |
等离子有效处理幅宽 | 20-100MM |
喷头数量 | 1/2 |
外部控制方式 | I/O |
检测警报保护功能 | 气压保护，过流保护，欠流保护，高温保护 |
使用温度范围 | -10℃~+50℃ |
相对湿度 | 20%<使用温度<93%（不结露） |
等离子体输温渡 | 40~50℃ |
三·等离子清洗原理（Principle）
1、等离子清洗的原理：对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，达到对材料表面清洗、蚀刻、活化等效果。
（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用：
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除 了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了 样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（2）激活键能--交联作用：
等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（3）形成新的官能团--化学作用：
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
2、等离子设备原理：等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、xyz三轴动力系统、工艺气体系统。
